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- Entstehung Der Röntgenemission
- Funktionsweise Des Detektors
- Edx-Spektren und Ihre Auswertung
- Laterale Auflösung Der Analyse
- Anwendung
- Vergleich Mit Der Wellenlängendispersiven Röntgenspektroskopie
- Literatur
- Einzelnachweise
Zur Emission charakteristischer Röntgenstrahlung in der Probe muss zunächst das Atom angeregt werden. Dieses kann durch den Beschuss mit Elektronen (z. B. im Rasterelektronenmikroskop) oder durch Bestrahlung mit Röntgenstrahlen (Röntgenfluoreszenz) erfolgen. Dabei wird ein Elektron aus einer der inneren Schalen herausgeschlagen. Ein derartiger Zust...
Der Detektor misst die Energie jedes eintreffenden Röntgenphotons. Häufig kommen unterschiedliche Varianten von Halbleiterdetektoren zum Einsatz. Typisch sind der Si(Li)-Detektor, der Siliziumdriftdetektor und Detektoren aus hochreinem Germanium. Wird ein Röntgenphoton im sensitiven Bereich eines solchen Detektors absorbiert, so entstehen dort Elek...
Im EDX-Spektrum ist die Signalintensität in Abhängigkeit von der Energie der Röntgenquanten aufgetragen. Das EDX-Spektrum besteht aus elementspezifischen Peaks und dem breiten unspezifischen Untergrund, der durch Bremsstrahlungerzeugt wird.
Die örtliche Genauigkeit einer Messung im Rasterelektronenmikroskop wird durch die Eindringtiefedes Elektronenstrahls in das Material begrenzt. Beim Auftreffen des Strahls auf das Material wird dieser in der Probe gestreut, so dass die emittierten Röntgenstrahlen in einem birnenförmigen Raumvolumen mit einem Durchmesser von 0,1–2 µm entstehen. Die ...
EDX-Detektoren finden Verwendung z. B. in folgenden Analysenmethoden: 1. REM-EDX: Kombination mit einem Rasterelektronenmikroskopzur Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Die Anregung erfolgt durch Elektronen. Aufgrund der weiten Verbreitung dieses Verfahrens wird EDX häufig als Kurzform für REM-EDX verwendet. Durch die Kombination des bildgeb...
Eine Alternative ist wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDS oder auch WDX). EDX erlaubt die simultane Messung des gesamten Röntgenspektrums der analysierten Probenstelle und damit die gleichzeitige Analyse aller nachweisbaren Elemente, was einen deutlichen Zeit- bzw. Geschwindigkeitsvorteil mit sich bringt. Dagegen ist die Nachweisempfind...
Frank Eggert: Standardfreie Elektronenstrahl-Mikroanalyse. 2005, ISBN 3-8334-2599-7.Matthias Otto: Analytische Chemie. 2006, ISBN 3-527-31416-4.Horst Biermann und Lutz Krüger: Moderne Methoden der Werkstoffprüfung. 2015, ISBN 978-3-527-33413-1.Maria Mulisch, Ulrich Welsch: Romeis Mikroskopische Technik. Springer, 2010, ISBN 978-3-8274-2254-5, S.32.Horst Biermann, Lutz Krüger: Moderne Methoden der Werkstoffprüfung. John Wiley & Sons, 2014, ISBN 978-3-527-67070-3, S.232 (eingeschränkte Vorschauin der Google-Buchsuche).a b c d DC Bell, AJ Garratt-Reed: Energy Dispersive X-ray Analysis in the Electron Microscope. Garland Science, 2003, ISBN 978-0-203-48342-8 (eingeschränkte Vorschauin der Google-Buchsuche).Frank de Groot, Akio Kotani: Core Level Spectroscopy of Solids. CRC Press, 2008, ISBN 978-1-4200-0842-5, S.484 (eingeschränkte Vorschauin der Google-Buchsuche).Supercharge your skills with the best free courses online from edX. Enroll today to start free online courses with the world’s leading universities.
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